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Flon氟隆化工氟聚乙烯止回閥B型NR1115是全 PTFE 無金屬接觸、寶塔軟管直插式微型單向止回閥,依靠全氟耐腐蝕潔凈結構、低開啟壓差零反向滲漏特性,用于半導體高純腐蝕藥液管路阻斷介質倒流。
產品型號:NR1115
廠商性質:經銷商
更新時間:2026-06-29
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Flon氟隆化工氟聚乙烯止回閥B型NR1115
Flon氟隆化工氟聚乙烯止回閥B型NR1115
閥體主體:一體成型高純 PTFE(聚四氟乙烯),無金屬內襯、無金屬彈簧接觸藥液,零金屬離子析出,耐強酸強堿、光刻有機溶劑、顯影液等各類強腐蝕介質。
內部閥芯密封組件:PTFE 浮球閥芯 + 氟橡膠全氟 O 形圈,密封面良好,不吸附藥液微粒。
兩端接頭:一體成型寶塔式軟管插尾(竹節(jié)接頭),適配標準 PFA/PTFE 高純軟管,直接插裝鎖緊,無需螺紋配件,拆裝便捷。
內部彈性件:無外露金屬彈簧,內置氟樹脂包覆彈性結構,隔絕腐蝕介質,杜絕金屬溶出污染晶圓工藝。
通徑規(guī)格:NR1115 系列分 4 種管徑(6/8/10/12mm),適配對應外徑 PTFE 軟管。
耐壓參數:常溫 25℃額定耐壓 0.4MPa,最大允許工作壓力 0.5MPa;開啟壓差極小,低壓微量藥液即可順暢導通。
溫度區(qū)間:流體適用溫度 5~80℃,環(huán)境工作溫度 0~40℃,冷熱交替不易形變滲漏。
流向結構:直通式流道,流體正向通行阻力低;反向時浮球自動貼合閥座,實現零泄漏阻斷倒流。
安裝方式:水平 / 垂直均可安裝,小巧圓柱形機身,適配藥液柜、小型設備狹小安裝空間。
可觀潔凈無析出:全 PTFE 接液結構,全程無金屬接觸介質,滿足半導體超高純工藝潔凈標準,無微粒、重金屬離子污染晶圓。
全介質強耐腐蝕性:PTFE 本體耐受幾乎所有強酸、強堿、有機溶劑、蝕刻清洗藥液,無溶脹、不被介質腐蝕破損。
軟管直插式簡易裝配:兩端一體寶塔插尾,直接插接氟樹脂軟管,無需螺母、卡套配件,快速集成微型閥組。
微型緊湊輕量化:圓柱一體化成型,體積小巧,節(jié)省設備內部安裝空間,適配微量供液、取樣、循環(huán)支路。
低流阻 + 零反向滲漏:直通大口徑流道降低藥液輸送損耗;氟橡膠全氟密封座,反向承壓無滲漏,杜絕不同藥液混料污染。
長效耐用易清洗:內腔平滑,純水 / 高純溶劑吹掃無殘液殘留,可長期反復使用,維護成本低。
半導體濕法設備:晶圓清洗、蝕刻、顯影設備微量藥液供液支路,防止藥液回流污染藥桶;
光伏 / 面板制造:酸堿清洗液、蝕刻劑循環(huán)管路單向防護;
精密化工實驗室:高純試劑、微量滴定輸送管路防倒流;
醫(yī)療高純流體設備、微量計量泵配套保護閥,防止泵體負壓回流損壞泵頭。
B 型(NR1115):寶塔軟管插尾式,適配柔性 PTFE 軟管,設備微型管路;
A 型:內螺紋連接款,適配硬管螺紋管路;
C 型:內置金屬包覆彈簧,適配更高壓差工況。